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流體控製係統
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測量氣體流量的熱量法流量傳感器包括加熱元件和溫度傳感器，
可以直接安裝在氣體 通道中，也可安裝在氣體通道之外。加熱元件對流過的氣體進行加熱，
然後由溫度傳感器檢測 其所散發的熱量。

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流量控製器的結構與功能：
8626、8710、8711、8712 和 8713 型流量控製器為體式設備，用於控製氣體的 流量。
所控製的是個預設置的流量參考值，而不考慮壓力波動或瞬間出現的流動阻力（如 由過濾器汙垢所導致的）
等幹擾變量。MFCs 包括以下幾個部分：流量傳感器、電子線路（具有 信號處理、調節和控製閥門等功能）
和比例電磁閥。通過模擬信號或現場總線設置參考值，在控 製器中將傳感器測得的實際值與參考值進行比較。
控製器根據控製偏差輸出個脈寬調製的電壓 信號（修正變量）來控製比例電磁閥，並使該修正變量隨控製
偏差的變化而不斷變化。實際值也 通過模擬信號或現場總線傳送，以便用戶對氣體的流量進行控製和分析。
流量控製器具 有結構緊湊、安裝簡單的特點，確保整個（閉環）控製回路的操作方便。沒有額外的工作量或
費 用：如各部件之間的接線與協調、考慮管道長度（入口/出口直管段）等。
式傳感器 8626/8006 型
該式傳感器為 CTA（恒溫風速計） 工作原理：控製加熱電阻 (RS) 和測量電阻 (RT) 之間
保持個恒定的溫差。這兩個電阻都直接位於氣體通道內；另外三個電阻位於氣體通道之外。
這 五個電阻連接成個測量電橋。氣體通道中的個電阻 (RT) 測量介質溫度，另個低阻值電阻
(RS) 不斷被加熱，使其與介質溫度（由 RT 測得）之間始終保持個恒定的溫差。所需的加熱電
流即用於測量流過該氣體通道的氣體流量。MFC 中合適的流量調節確保其所測得的流量非常 。
由於加熱電阻和測量電阻都直接位於氣體通道內，所以當設定值或實際值變化時，該傳感 器的響應時間短，
隻有幾百毫秒。此外，該傳感器的結構確保其不易受汙染物的影響。
CMOS 傳感器 8711/8701、8712/8702、8713/8703 型
與在主管道中進行測量的式傳感器不同，CMOS 傳感器是在旁路管道中進行測量的。
主 管道中的層流元件產生個必需的壓差，使小部分流量進入旁路管道。旁路管道內壁上裝有帶膜
的矽芯片，用於測量流量。采用 CMOS 傳感器技術，在這塊膜上有個加熱電阻和兩個對稱的 溫度傳感器

（分別位於上遊和下遊）。如使加熱電阻保持在個恒定溫度，則兩個溫度傳感器的 電壓差即可用於測量
旁路通道內流過芯片的氣體的流量。 該溫度傳感器的熱量低、與介質直 接接觸，因此具有許多特定的，
其中之就是對於流量變化的響應快。帶 CMOS 傳感器 的 MFC 具有100 ms 的響應時間，且靈敏度高，
即使流量很小時也是如此。
參數設置
–  設置控製功能
– 選擇設定值和實際測量值的標準信號
–  設置設定值曲線
–  對於標定為兩種氣體的 MFM/MFC：選擇工作氣體
–  設置二進製輸入的功能：
·  切換氣體 ·  啟動自動優化程序（Autotune）
·  累加器複位或限值開關
·  設置安全位置 ·  控製操作（設定值直接控製閥門）
·  打開閥門，如用於吹洗過程
·  其它 – 設置二進製輸出的功能：
·  故障信號 · 控製輸出，如用於關斷閥
· 限值反饋（流量、累加器）